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1、大批量半導(dǎo)體芯片高精密在線清洗系統(tǒng)。

2、噴淋清洗方式，高效清除助焊劑等有機(jī)、無(wú)機(jī)污染物。

3、多段超長(zhǎng)化學(xué)清洗+多段DI水漂洗+超長(zhǎng)熱風(fēng)干燥工作流程。

4、清洗液自動(dòng)添加；DI水自動(dòng)添加。

5、清洗，漂洗，風(fēng)切壓力可調(diào)節(jié)。

6、大流量清洗，清洗液和DI水可完全滲透至等芯片底部，超強(qiáng)清洗效果。

7、配備漂洗DI水電阻率監(jiān)控系統(tǒng)。

8、風(fēng)刀風(fēng)切+超長(zhǎng)紅外熱風(fēng)循環(huán)干燥系統(tǒng)。

9、LC控制系統(tǒng)，中/英文圖形化操作界面，程序方便設(shè)置，更改，存儲(chǔ)和調(diào)用。

10、SUS304不銹鋼機(jī)身，管道及零部件，耐溫，耐酸性、堿性等清洗液。

11、可與前后設(shè)備連接，組成自動(dòng)清洗線。

12、清洗液濃度檢測(cè)等多種選配功能。